JCB-8818A Tipo MPCVD é uma cavidade cilíndrica de alta potência MPCVD desenvolvida por JCB. Seu diâmetro de crescimento efetivo da tabela de molibdênio pode atingir 75/80 mm, e a taxa de crescimento do diamante de cristal único DEF pode atingir 10-15um. Este equipamento é usado principalmente para o crescimento de diamantes de cultura de cristal único, diamantes de cortadores de cristal de alta qualidade, filmes de diamante policristalino, crescimento de baixa temperatura de grafeno de alta qualidade e crescimento de materiais que requerem energia fornecida pelo plasma de microondas.
Principais parâmetros técnicos do equipamento
1. Sistema de microondas (de acordo com a fonte de alimentação opcional)
◆ Frequência operacional: 2450 ± 50MHz
◆ Poder de saída: 1 ~ 10kW continuamente ajustável
◆ Fluxo de água de resfriamento: 6-12L/min
◆ Coeficiente de onda permanente do sistema: VSWR ≤ 1,5
◆ Vazamento de microondas: <2 mw/cm2
◆ Manual de três pinos
◆ Equipado com ajuste de antena e ajuste de pistão de curto-circuito
2. Sistema de vácuo e câmara de reação
◆ Taxa de vazamento <5 × 10pa .m '/s
◆ A pressão final é menor que 0,5 Pa (esta máquina vem com um medidor de vácuo Pirani importado)
◆ A pressão na cavidade não aumentará mais de 50Pa após 12 horas de manutenção da pressão.
◆ Método de entrada de ar: ingestão de ar superior
◆ Janela de medição de temperatura de observação: 4 orifícios de observação
◆ Inlet: localizado na parte frontal da cavidade
3. Sistema de suporte de amostra
◆ Diâmetro do estágio da amostra ≥ 73 mm, diâmetro eficaz de uso ≥ 71mm
◆ Estrutura de sanduíche refrigerado a água de mesa de substrato, levantamento vertical
4. Sistema pneumático
◆ Placa de gás de soldagem de metal total com 5-7 canais de gás opcional
◆ Todos os caminhos aéreos dentro do equipamento usam soldagem ou juntas de videocassete
5. Resfriamento do sistema
◆ Resfriamento de água de 3 vias, monitoramento em tempo real da temperatura e fluxo
◆ Fluxo de água de resfriamento do sistema ≤ 50L/min, pressão de resfriamento da água <4kg,
Importar temperatura da água 20-25C
6. Método de medição de temperatura
◆ Termômetro infravermelho externo, faixa de temperatura 300-1400RC
Contato Agora